Rusya, çip üretim ekipmanlarının ikamesi projelerine 2 milyar ruble ayırdı

Rusya Sanayi ve Ticaret Bakanlığı, epitaksiyel ekipmanların ithal ikamesine yönelik iki büyük projeyi başlattı. Bu teknoloji, silisyum, silisyum-germanyum ile indiyum, alüminyum ve galyum bileşiklerine dayalı katmanların büyütülmesi için tasarlanmıştır. CNews yayınının haberine göre, yeni geliştirmeler, Rusya'ya tedariki engellenen Amerikalı Veeco, Fransız Riber ve Hollandalı ASM şirketlerinin ekipmanlarının yerini almalı. Ixbt.com'un bildirdiğine göre bu bilgileri paylaştı.

“Epitaksiya-SiGe” projesine 463,7 milyon ruble tahsis edildi. Proje kapsamında, 200 mm çapındaki silisyum plakalar üzerinde gaz fazlı epitaksi yöntemiyle silisyum-germanyum katmanlarını büyütmek için bir cihazın oluşturulması planlanıyor. Bu sistem, Hollandalı ASM Epsilon 2000 cihazının analogu olacak. Teknik şartnameye göre yüklenici; reaktör, robot yükleyici ve plaka yüzey temizleme modülünü geliştirmelidir. Çalışmaların Haziran 2029'a kadar tamamlanması gerekmektedir.

“Citadel” adlı ikinci projeye ise 1,5 milyar ruble yönlendirildi. Bu proje, indiyum, alüminyum, galyum ve arsenit bileşiklerine dayalı heteroyapılar elde etmek için moleküler ışın epitaksi cihazının geliştirilmesini öngörüyor. Söz konusu sistemin Fransız Riber 49 ve ABD'li Veeco GEN200 ekipmanlarının yerini alması bekleniyor. Bu projenin Ekim 2030'a kadar tamamlanması planlanmaktadır.

Her iki projede de Rusya'da üretilen bileşenlerin kullanılması yönünde katı bir gereklilik belirlenmiştir. Vakum odaları, pompalar, moleküler kaynaklar, kontrolörler ve yazılım gibi kritik bileşenlerin yerli üretim olması zorunludur. Yabancı parçaların kullanımına yalnızca istisnai durumlarda ve bakanlık ile mutabık kalınarak izin verilmektedir.