La Russie alloue 2 milliards de roubles aux projets de substitution d'équipements de fabrication de puces

Le ministère russe de l'Industrie et du Commerce a lancé deux projets majeurs visant la substitution aux importations d'équipements d'épitaxie. Cette technologie est conçue pour la croissance de couches à base de silicium, de silicium-germanium, ainsi que de composés d'indium, d'aluminium et de gallium. Selon CNews, les nouveaux développements doivent remplacer les équipements de l'américain Veeco, du français Riber et du néerlandais ASM, dont les livraisons à la Russie sont bloquées. Ixbt.com rapporte cette information. rapporte .

463,7 millions de roubles ont été alloués au projet 'Epitaxie-SiGe'. Il prévoit la création d'un dispositif pour la croissance de couches de silicium-germanium sur des plaquettes de silicium de 200 mm de diamètre par épitaxie en phase gazeuse. Ce système sera un analogue de l'ASM Epsilon 2000 des Pays-Bas. Selon le cahier des charges, l'exécutant doit développer un réacteur, un chargeur robotisé et un module de nettoyage de surface de plaquette. Les travaux doivent être achevés d'ici juin 2029.

Le deuxième projet, nommé 'Citadel', a reçu 1,5 milliard de roubles. Ce projet prévoit le développement d'un système d'épitaxie par jets moléculaires pour produire des hétérostructures à base de composés d'indium, d'aluminium, de gallium et d'arséniure. Ce système devrait remplacer les équipements Riber 49 de France et Veeco GEN200 des États-Unis. L'achèvement de ce projet est prévu pour octobre 2030.

Les deux projets imposent strictement l'utilisation de composants fabriqués en Russie. Les nœuds critiques tels que les chambres à vide, les pompes, les sources moléculaires, les contrôleurs et les logiciels doivent être de production nationale. L'utilisation de pièces étrangères n'est autorisée que dans des cas exceptionnels et avec l'accord du ministère.