Ресей чип өндіру жабдықтарын алмастыру жобаларына 2 млрд рубль бөлді

Ресей Өнеркәсіп және сауда министрлігі эпитаксиялық жабдықтарды импорт алмастыруға бағытталған екі ірі жобаны іске қосты. Бұл технология кремний, кремний-германий, сондай-ақ индий, алюминий және галлий қосылыстары негізіндегі қабаттарды өсіруге арналған. CNews басылымының хабарлауынша, жаңа әзірлемелер Ресейге жеткізілуіне тыйым салынған америкалық Veeco, француздық Riber және нидерландтық ASM компанияларының жабдықтарын алмастыруы тиіс. Бұл туралы Ixbt.com хабар береді.

«Эпитаксия-SiGe» жобасына 463,7 миллион рубль қаржы бөлінді. Оның аясында диаметрі 200 мм болатын кремний пластиналарында газ фазалы эпитаксия әдісімен кремний-германий қабаттарын өсіру қондырғысын жасау көзделген. Бұл жүйе Нидерландтың ASM Epsilon 2000 қондырғысының аналогы болады. Техникалық тапсырмаға сәйкес, орындаушы реактор, робот-жүктегіш және пластина бетін тазалау модулін әзірлеуі тиіс. Жұмыстар 2029 жылдың маусымына дейін аяқталуы керек.

«Citadel» деп аталатын екінші жобаға 1,5 миллиард рубль бағытталды. Бұл жоба индий, алюминий, галлий және арсенид қосылыстары негізінде гетероқұрылымдар алу үшін молекулалық-сәулелі эпитаксия қондырғысын әзірлеуді қарастырады. Аталған жүйе француздық Riber 49 және америкалық Veeco GEN200 жабдықтарының орнын басуы күтілуде. Бұл жобаны 2030 жылдың қазанына дейін аяқтау жоспарланған.

Екі жобада да Ресейде өндірілген бөлшектерді пайдалану талабы қатаң белгіленген. Вакуумдық камералар, сорғылар, молекулалық көздер, контроллерлер және бағдарламалық қамтамасыз ету сияқты маңызды тораптар отандық өнім болуы шарт. Шетелдік бөлшектерді пайдалануға тек ерекше жағдайларда және министрлікпен келісілген жағдайда ғана рұқсат етіледі.