В России создают новый технологический комплекс для производства микросхем

В Зеленограде создается комплекс «чистых помещений» и инженерных систем для первой отечественной промышленной установки по металлизации микросхем. Проект, реализуемый группой компаний «Элемент», является важным шагом в импортозамещении в сфере микроэлектроники в условиях западных санкций. Об этом сообщает Иксбт.ком.

По данным иксбт.ком, победителем тендера на проектирование инженерной части проекта стала компания «Системные решения». Стоимость контракта составляет 21 млн рублей, а испытательный центр займет площадь около 350 квадратных метров. Здесь будет установлена отечественная система вакуумного напыления, которая станет альтернативой оборудованию компаний Апплиед Материалс (США) и Эватек (Швейцария).

Технологический процесс и международные стандарты

Ожидается, что новое устройство обеспечит производство микросхем на 200-миллиметровых пластинах на базе техпроцессов 180 и 90 нанометров. Оно будет выполнять задачу по нанесению слоев алюминия, титана и нитрида титана. Эти слои критически важны для формирования проводящих дорожек и защитных покрытий в микросхемах.

Для такого высокоточного оборудования требуется среда со строгим контролем. Согласно проекту, основная рабочая зона должна соответствовать классу чистоты ИСО 6, а вспомогательные помещения — стандарту ИСО 8. Это означает, что частицы в воздухе размером до 0,3 микрона фильтруются, температура поддерживается на уровне около +22 градусов, а влажность не превышает 50%.

Финансирование и перспективы

Минпромторг России планирует выделить до 2026 года около 2 млрд рублей на разработку самой установки. Проект включает восьмимодульную систему вакуумного напыления и два роботизированных манипулятора для работы с кремниевыми пластинами. Запуск полного технологического комплекса намечен на конец сентября 2030 года.

Эксперты отрасли отмечают, что создание «чистых помещений» для микроэлектроники остается одной из самых сложных и дорогостоящих задач. Несмотря на стремление России создать собственные технологии, часть компонентов по-прежнему импортируется, преимущественно из Китая. Для региона Центральной Азии, в частности Узбекистана, подобные технологические сдвиги в будущем могут повлиять на цепочки поставок высокотехнологичного оборудования.