Zeiss erweitert einzigartiges Optikwerk für die Produktion von 2-Nanometer-Chips

Das deutsche Unternehmen Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology (Zeiss SMT) hat eine umfassende Erweiterung seines Produktionskomplexes in Oberkochen angekündigt. Im Rahmen dieses Projekts werden neue Gebäude mit einer Fläche von 25.000 Quadratmetern errichtet. Dort werden einzigartige optische Systeme für ASML-Lithografiemaschinen hergestellt, die zur Fertigung der weltweit fortschrittlichsten Chips eingesetzt werden. Dieser Schritt ist von strategischer Bedeutung für die globale Halbleiterindustrie, da die Erstellung moderner Prozessoren ohne diese Optik unmöglich ist, berichtet Ixbt.com. berichtet .
Derzeit sind die Zeiss-Werke in Oberkochen und Wetzlar die weltweit einzigen Standorte, die optische Säulen für EUV-Lithografiegeräte (Extreme Ultraviolet) herstellen. Wie ASML in seinem Geschäftsbericht offen einräumt, hängt das Liefervolumen von Lithografiemaschinen direkt von den Produktionskapazitäten von Zeiss SMT ab. Das deutsche Unternehmen gilt als der einzige Anbieter von Linsen, hochpräzisen Spiegeln und Beleuchtungssystemen.
Ein entscheidendes Glied im technologischen Wettlauf
Die Inbetriebnahme des neuen Komplexes wird die Chip-Produktion auf Basis von 2nm und noch kleineren Prozessknoten beschleunigen. Nach Angaben von ASML ist geplant, die Produktion von Low-NA-EUV-Scannern bis 2027 um 30 % von 65 Einheiten pro Jahr zu steigern. Gleichzeitig wird die Montagezeit für ein einzelnes Lithografiesystem von derzeit 22 Wochen auf 15–16 Wochen verkürzt. Dies wird es ermöglichen, den Bedarf des Weltmarkts an Smartphones, KI- und Server-Prozessoren schneller zu decken.Insbesondere die Erstellung optischer Module für die neue Generation von Systemen namens High-NA EUV ist eine äußerst komplexe ingenieurtechnische Aufgabe. Allein eine optische Säule besteht aus über 40.000 Teilen und wiegt 12 Tonnen. Das Beleuchtungssystem umfasst weitere 25.000 Komponenten und wiegt 6 Tonnen. Die Herstellung von Geräten dieser Komplexität erfordert nicht nur Spitzentechnologie, sondern auch eine hochpräzise Umgebung.
Die Herstellung einzelner Spiegel innerhalb der optischen Systeme nimmt mehrere Monate in Anspruch. Die fertigen Teile werden in riesigen Vakuumkammern mit einem Gewicht von über 150 Tonnen geprüft. Spezialisten messen Oberflächenabweichungen mit einer Genauigkeit im Bruchteil eines Nanometers. Ein derartiges Präzisionsniveau ist nirgendwo sonst auf der Welt zu erreichen, was Zeiss zu einem Technologie-Monopolisten macht.
Finanzkennzahlen und Zukunftspläne
ASML investiert erhebliche Mittel zur Unterstützung seines Hauptpartners. Zum Ende des Jahres 2025 beliefen sich die Kredite an Zeiss SMT auf 1,91 Milliarden Euro, während weitere 1,19 Milliarden Euro als Anzahlung für künftige Lieferungen überwiesen wurden. Diese Investitionen tragen bereits Früchte: Der Jahresumsatz der Zeiss SMT-Sparte stieg um 23 % auf 5,055 Milliarden Euro und entwickelte sich damit zum größten Geschäftsfeld des Konzerns.Die Expansion beschränkt sich nicht nur auf Oberkochen. Das Unternehmen setzt derzeit auch folgende Projekte um:
- Bau eines neuen Produktionskomplexes in Wetzlar;
- Erweiterung der Reinraumbereiche in Rossdorf;
- Eröffnung eines neuen Innovationszentrums in Südkorea.

















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