Rossiya chip ishlab chiqarish uskunalarini oʻrnini bosuvchi loyihalarga 2 mlrd rubl ajratdi

Rossiya Sanoat va savdo vazirligi epitaksiya uskunalarini import oʻrnini bosishga qaratilgan ikkita yirik loyihani ishga tushirdi. Ushbu texnologiya kremniy, kremniy-germaniy hamda indiy, alyuminiy va galliy birikmalari asosidagi qatlamlarni oʻstirish uchun moʻljallangan. CNews nashrining xabar berishicha, yangi ishlanmalar Rossiyaga yetkazib berilishi bloklangan Amerikaning Veeco, Fransiyaning Riber va Niderlandiyaning ASM kompaniyalari uskunalarini almashtirishi kerak. Bu haqda Ixbt.com xabar beradi.

“Epitaksiya-SiGe” loyihasiga 463,7 million rubl mablagʻ ajratildi. Uning doirasida 200 mm diametrli kremniy plastinalarida kremniy-germaniy qatlamlarini gaz fazali epitaksiya usuli bilan oʻstirish qurilmasini yaratish koʻzda tutilgan. Bu tizim Niderlandiyaning ASM Epsilon 2000 qurilmasining analogi boʻladi. Texnik topshiriqqa koʻra, ijrochi reaktor, robot-yuklagich va plastina yuzasini tozalash modulini ishlab chiqishi lozim. Ishlar 2029-yil iyunigacha yakunlanishi kerak.

“Citadel” deb nomlangan ikkinchi loyihaga esa 1,5 milliard rubl yoʻnaltirildi. Bu loyiha indiy, alyuminiy, galliy va arsenid birikmalari asosida geterostrukturalar olish uchun molekulyar-nurli epitaksiya qurilmasini ishlab chiqishni nazarda tutadi. Mazkur tizim Fransiyaning Riber 49 va AQSHning Veeco GEN200 uskunalarining oʻrnini bosishi kutilmoqda. Ushbu loyihani 2030-yil oktabriga qadar yakunlash rejalashtirilgan.

Har ikkala loyihada ham Rossiyada ishlab chiqarilgan butlovchi qismlardan foydalanish talabi qatʼiy belgilab qoʻyilgan. Vakuum kameralari, nasoslar, molekulyar manbalar, nazoratchilar va dasturiy taʼminot kabi muhim tugunlar mahalliy mahsulot boʻlishi shart. Xorijiy detallardan foydalanishga faqat istisno holatlarda va vazirlik bilan kelishilgan holda ruxsat beriladi.