LG bringt eigene Lithographie-Ausrüstung für 2 Millionen US-Dollar auf den Markt

Laut Ixbt.com hat das LG Production Engineering Research Institute (LG PRI) offiziell den kommerziellen Vertrieb seines hochpräzisen Laser Direct Imaging (LDI) Systems gestartet. Zu den ersten Käufern dieses fortgeschrittenen Geräts gehören LG Innotek und ein ausländischer Hersteller von Leiterplatten. Dies berichtet Ixbt.com berichtet .

Der Marktpreis des neuen technologischen Geräts beträgt etwa 2 Millionen US-Dollar. LG-Vertreter wiesen darauf hin, dass sich das System zwar erst kürzlich in der Massenproduktion befindet, das Unternehmen jedoch bereits aktiv mit neuen Kunden verhandelt und eine Reihe von Gemeinschaftsprojekten umsetzt.

Vollständiger Verzicht auf Fotomasken

Das absolut wichtigste Merkmal dieser Entwicklung ist, dass sie den vollständigen Verzicht auf traditionelle Fotomasken ermöglicht. Stattdessen wird das benötigte Muster direkt mithilfe eines Ultraviolettlasers geformt und die Schaltung unmittelbar auf die Oberfläche des Rohlings aufgebracht.

Ein solcher Ansatz verkürzt die Vorbereitungszeit für die Produktion erheblich und vereinfacht den Prozess von Änderungen am Produktdesign. Er trägt auch dazu bei, die Kosten zu senken, insbesondere bei der Herstellung kleiner Produktchargen.

Technische Möglichkeiten und Präzision

Laut LG ist dieses System in der Lage, Elemente mit einer Größe von 1,5 bis 3 Mikrometern zu erzeugen. Zur weiteren Erhöhung der Arbeitsgenauigkeit ist das Gerät mit einer speziellen Technologie namens RTAC (Real-Time Active Compensation) ausgestattet, die mögliche Materialverformungen während des Belichtungsprozesses in Echtzeit überwacht und kompensiert.

Dies ermöglicht die Arbeit mit großen Substraten von bis zu 600 × 600 Millimetern. Das neue Gerät ist für die Herstellung moderner Halbleitersubstrate und Redistribution Layers (RDL) konzipiert und unterstützt verschiedene Materialien von traditionellen Leiterplatten bis hin zu Siliziumwafern und zukunftsweisenden Glassubstraten.