ЛГ выпустила в продажу собственное литографическое оборудование стоимостью 2 миллиона долларов

Как сообщает Иксбт.ком, ЛГ Продуктион Энгиниринг Ресеарч Институте (ЛГ ПРИ) официально начал коммерческие продажи системы высокоточной лазерной прямой литографии (Ласер Директ Имагинг, ЛДИ). В число первых покупателей этого передового устройства вошли ЛГ Иннотек и одна из зарубежных компаний по производству печатных плат. Об этом сообщает Иксбт.ком передает.

Рыночная цена нового технологического оборудования составляет примерно 2 миллиона долларов. Представители ЛГ отмечают, что, несмотря на недавний выход системы на этап массового производства, компания уже ведет активные переговоры с новыми клиентами и реализует ряд совместных проектов.

Полный отказ от фотошаблонов

Главная особенность данной разработки заключается в том, что она позволяет полностью отказаться от традиционных фотошаблонов. Вместо них необходимый рисунок формируется непосредственно с помощью ультрафиолетового лазера, а схема переносится прямо на поверхность заготовки.

Такой подход значительно сокращает время подготовки к производству и упрощает процесс внесения изменений в конструкцию изделий. Он также помогает снизить затраты, особенно при выпуске мелкосерийной продукции.

Технические возможности и точность

По данным ЛГ, эта система способна создавать элементы размером от 1,5 до 3 микрометров. Для дальнейшего повышения точности работы устройство оснащено специальной технологией РТАК (Реал-Тиме Активе Компенсатион), которая в режиме реального времени отслеживает и компенсирует возможные деформации материала в процессе экспозиции.

Это позволяет работать с крупноразмерными подложками размером до 600 × 600 миллиметров. Новое устройство предназначено для производства современных полупроводниковых подложек и слоев перераспределения (РДЛ), поддерживая различные материалы: от традиционных печатных плат до кремниевых пластин и перспективных стеклянных подложек.