Китай начал серийное производство собственных имльмерсионных ДУВ-литографов

Китай сделал важный шаг на пути обеспечения технологической независимости на рынке полупроводников и наладил серийный выпуск литографов с иммерсионным методом экспозиции собственного производства. Как сообщает издание Те Информатион со ссылкой на собственные источники, первые экземпляры этого высокотехнологичного оборудования планируется поставить ведущим производителям чипов страны уже в текущем году. Об этом сообщает Иксбт.ком сообщает .

В рамках этого стратегически важного проекта перед производителем поставлены четкие планы на ближайшие годы. В частности, в течение 2026 года предусмотрен выпуск примерно пяти таких машин, а к 2027 году этот показатель планируется довести до 20 единиц в год. Хотя название компании-производителя официально не разглашается, источники утверждают, что за этой инициативой стоят несколько крупных китайских предприятий, в том числе государственный стартап Шангхаи Юлиангшенг Течнологй.

Процесс тестирования и особенности производства

Работы по тестированию возможностей новой технологии уже начались. Сообщается, что опытный образец иммерсионного ДУВ-литографа успешно тестируется на производственной площадке компании СМИК с сентября 2025 года. Несмотря на то, что основные узлы оборудования изготавливаются в самом Китае, некоторые критически важные комплектующие закупаются у японских компаний. Именно проблемы с поставками этих деталей остаются основным фактором, сдерживающим темпы серийного производства на данный момент.

Иммерсионная ДУВ-литография считается одной из самых сложных технологий создания современных микрочипов. С помощью таких устройств обеспечивается возможность производства чипов по техпроцессу около 28 нм за один цикл экспозиции. Если же применяется технология многократной экспозиции (мултипле паттернинг), оборудование способно производить передовые микрочипы уровня примерно 7 нм.

Давление США и ведущие китайские компании

Начало производства Китаем собственного литографического оборудования происходит на фоне усиливающихся санкций и давления со стороны США. В настоящее время в Конгрессе США обсуждается законопроект MATCH Акт. Если этот документ будет утвержден, нидерландской компании ASML могут запретить не только поставлять новые иммерсионные ДУВ-системы китайским предприятиям, но и оказывать техническое обслуживание уже установленного оборудования.

На данный момент в число потенциальных компаний, попадающих под этот риск, входят СМИК, Хуа Хонг Семикондуктор и ЧангКсин Меморй Течнологиес (CXMT). Именно эти крупные игроки находятся в списке первых получателей новых отечественных литографов. Ожидается, что внедрение новой местной технологии позволит Китаю значительно смягчить влияние зарубежных ограничений.