Chinas neue AST6200-Lithografiemaschine geht in die Serienproduktion

Chinas Halbleitermarkt hat einen weiteren wichtigen Schritt in Richtung technologischer Unabhängigkeit gemacht. Wie ixbt.com berichtet, hat Shanghai Xinshang Microassembly seine neue AST6200-Lithografieanlage erfolgreich auf den kommerziellen Markt gebracht und Aufträge für die ersten Serienlieferungen erhalten. Ixbt.com berichtet .

Das Gerät hat in einem Werk eines führenden chinesischen Halbleiterherstellers erfolgreich eine vollständige technologische Prüfung und Testphase durchlaufen. Die ersten AST6200-Systeme sollen die Werkstests bereits im November 2025 abgeschlossen haben. Nach der praktischen Validierung durch Fachleute ging das System in die vollständige Serienproduktion über.

Technische Merkmale und Anwendungsbereiche

Die neue Lithografiemaschine ist nicht für die Herstellung herkömmlicher Siliziumprozessoren vorgesehen. Ihre Hauptaufgabe besteht in der Fertigung von Komponenten auf Basis von Siliziumkarbid, Galliumnitrid, Galliumarsenid, Indiumphosphid und anderen Verbindungshalbleitern.

Diese fortschrittlichen Technologien sind auf dem Technologiemarkt derzeit äußerst gefragt und werden in den folgenden Bereichen breit eingesetzt:

• Herstellung moderner Elektrofahrzeuge
• Infrastruktur von 5G-Kommunikationsnetzen
• Optoelektronische Systeme

Auch die technischen Fähigkeiten der Anlage erfüllen die Anforderungen der Industrie vollständig. Die AST6200 kann Wafer mit einem Durchmesser von 2 bis 8 Zoll verarbeiten. Zudem unterstützt sie verschiedene Substrate, darunter Silizium, Siliziumkarbid, Saphir und Galliumarsenid.

Software und optische Systeme

Das Gerät ist mit einer hauseigenen Projektionsoptik, einem hochpräzisen Schichtausrichtungssystem, einstellbarer Beleuchtung und automatischer Fokussierung ausgestattet. Zusätzliche Module ermöglichen die Verarbeitung komplexer Substrate sowie Ausrichtungsprozesse auf der Vorder- und Rückseite.

Der Hersteller hat auch das Softwaresteuerungssystem der Anlage vollständig intern entwickelt. Das System umfasst alle Funktionen – von den Gerätetreibern bis zur Steuerung komplexer technologischer Prozesse – und zeigt, dass sich Chinas Industrie zunehmend auf eigene Fähigkeiten stützt.