La nouvelle machine de lithographie AST6200 de Chine entre en production en série

Le marché chinois des semi-conducteurs a franchi une nouvelle étape importante vers l’indépendance technologique. Selon ixbt.com, Shanghai Xinshang Microassembly a lancé avec succès son nouvel équipement de lithographie AST6200 sur le marché commercial et obtenu des commandes pour les premières livraisons en série. À ce sujet, Ixbt.com en rend compte.

L’appareil a passé avec succès une vérification technologique complète et les procédures de test dans l’usine d’un important fabricant chinois de semi-conducteurs. Il est indiqué que les premiers exemplaires de l’équipement AST6200 avaient déjà achevé les essais en usine en novembre 2025. Après la validation pratique par des spécialistes, le système est entré dans la phase de production en série à part entière.

Caractéristiques technologiques et domaines d’application

La nouvelle machine de lithographie n’est pas destinée à la fabrication de processeurs traditionnels en silicium. Sa fonction principale consiste à produire des composants à base de carbure de silicium, de nitrure de gallium, d’arséniure de gallium, de phosphure d’indium et d’autres semi-conducteurs composés.

Ces technologies avancées sont aujourd’hui très demandées sur le marché technologique et sont largement utilisées dans les domaines suivants :

• Production de véhicules électriques modernes
• Infrastructure des réseaux de communication 5G
• Systèmes optoélectroniques

Les capacités techniques de l’équipement répondent également pleinement aux exigences de l’industrie. L’AST6200 peut fonctionner avec des plaquettes d’un diamètre de 2 à 8 pouces. Il prend également en charge différents types de substrats, notamment le silicium, le carbure de silicium, le saphir et l’arséniure de gallium.

Logiciels et systèmes optiques

L’appareil est équipé d’une optique de projection propriétaire, d’un système d’alignement de haute précision des couches, d’un éclairage réglable et de fonctions de mise au point automatique. Des modules supplémentaires permettent de travailler avec des substrats complexes et d’effectuer des opérations d’alignement frontal et inversé.

Le fabricant a également développé entièrement en interne le système de contrôle logiciel de cet équipement. Le système couvre toutes les fonctions, des pilotes matériels à la gestion de processus technologiques complexes, montrant ainsi que l’industrie chinoise s’appuie sur ses propres capacités.