Россия чип ишлаб чиқариш ускуналарини ўрнини босувчи лойиҳаларга 2 млрд рубл ажратди

Россия Саноат ва савдо вазирлиги эпитакция ускуналарини импорт ўрнини босишга қаратилган иккита йирик лойиҳани ишга туширди. Ушбу технология кремний, кремний-германий ҳамда индий, алюминий ва галлий бирикмалари асосидаги қатламларни ўстириш учун мўлжалланган. КНевс нашрининг хабар беришича, янги ишланмалар Россияга етказиб берилиши блокланган Американинг Вееко, Франциянинг Рибер ва Нидерландиянинг АСМ компаниялари ускуналарини алмаштириши керак. Бу ҳақда Ixbt.com хабар беради.

“Эпитакция-СиГе” лойиҳасига 463,7 миллион рубл маблағ ажратилди. Унинг доирасида 200 мм диаметрли кремний пластиналарида кремний-германий қатламларини газ фазали эпитакция усули билан ўстириш қурилмасини яратиш кўзда тутилган. Бу тизим Нидерландиянинг АСМ Эпсилон 2000 қурилмасининг аналоги бўлади. Техник топшириққа кўра, ижрочи реактор, робот-юклагич ва пластина юзасини тозалаш модулини ишлаб чиқиши лозим. Ишлар 2029-йил июнигача якунланиши керак.

“Ситадел” деб номланган иккинчи лойиҳага эса 1,5 миллиард рубл йўналтирилди. Бу лойиҳа индий, алюминий, галлий ва арсенид бирикмалари асосида гетероструктуралар олиш учун молекуляр-нурли эпитакция қурилмасини ишлаб чиқишни назарда тутади. Мазкур тизим Франциянинг Рибер 49 ва АҚШнинг Вееко ГEН200 ускуналарининг ўрнини босиши кутилмоқда. Ушбу лойиҳани 2030-йил октабрига қадар якунлаш режалаштирилган.

Ҳар иккала лойиҳада ҳам Россияда ишлаб чиқарилган бутловчи қисмлардан фойдаланиш талаби қатъий белгилаб қўйилган. Вакуум камералари, насослар, молекуляр манбалар, назоратчилар ва дастурий таъминот каби муҳим тугунлар маҳаллий маҳсулот бўлиши шарт. Хорижий деталлардан фойдаланишга фақат истисно ҳолатларда ва вазирлик билан келишилган ҳолда рухсат берилади.