Rossiyada mikrosxemalar ishlab chiqarish uchun yangi texnologik majmua qurilmoqda

Rossiyaning Zelenograd shahrida mikrosxemalarni metallizatsiya qilishga moʻljallangan ilk mahalliy sanoat qurilmasi uchun maxsus “toza xona” va muhandislik tizimlari majmuasi barpo etilmoqda. “Element” kompaniyalar guruhi tomonidan amalga oshirilayotgan ushbu loyiha Gʻarb sanksiyalari sharoitida mikroelektronika sohasida import oʻrnini bosishga qaratilgan muhim qadam hisoblanadi. Bu haqda Ixbt.com xabar beradi.

ixbt.com ma“lumotlariga ko“koʻra, loyihaning muhandislik qismini loyihalashtirish bo“licha o“tkazilgan tanlovda “Sistemniye resheniya” kompaniyasi g“lib chiqqan. Shartnoma qiymati 21 million rublni tashkil etib, sinov markazi qariyb 350 kvadrat metr maydonda joylashadi. Bu yerda AQSHning Applied Materials va Shveytsariyaning Evatec kompaniyalari uskunalariga muqobil bo“lgan mahalliy vakuumli purkash tizimi o“rnatiladi.

Texnologik jarayon va xalqaro standartlar

Yangi qurilma 200 millimetrli plastinalarda 180 va 90 nanometrli texnologik jarayonlar asosida mikrosxemalar ishlab chiqarishni ta“lminlashi kutilmoqda. U alyuminiy, titan va titan nitridi qatlamlarini yotqizish vazifasini bajaradi. Bu qatlamlar mikrosxemalarda o“tkazuvchan yo“laklar va himoya qoplamalarini shakllantirish uchun o“ta muhimdir.

Bunday yuqori aniqlikdagi uskunalar uchun o“ta qattiq nazorat qilinadigan muhit talab etiladi. Loyihaga ko“ra, asosiy ishchi hudud ISO 6 tozalik darajasiga, yordamchi xonalar esa ISO 8 standartiga javob berishi shart. Bu degani, havodagi 0,3 mikrongacha bo“lgan zarralar filtrlanadi, harorat +22 daraja atrofida saqlanadi va namlik 50 foizdan oshmaydi.

Mablag“lash va istiqbollar

Rossiya Sanoat va savdo vazirligi ushbu qurilmaning o“zini ishlab chiqish uchun 2026-yilgacha taxminan 2 milliard rubl ajratishni rejalashtirgan. Loyiha sakkiz modulli vakuumli purkash tizimi hamda kremniy plastinalari bilan ishlash uchun ikkita robotlashtirilgan manipulyatorni o“z ichiga oladi. To“liq texnologik majmuani 2030-yil sentyabr oyi oxirigacha ishga tushirish maqsad qilingan.

Soha ekspertlarining ta“lashicha, mikroelektronika uchun “toza xonalar” yaratish eng murakkab va qimmat vazifalardan biri bo“lib qolmoqda. Garchi Rossiya o“z texnologiyasini yaratishga intilayotgan bo“lsa-da, komponentlarning bir qismi hamon xorijdan, asosan Xitoydan keltirilmoqda. Markaziy Osiyo mintaqasi, xususan O“zbekiston uchun ham bunday texnologik o“sishlar kelajakda yuqori texnologiyali uskunalarni yetkazib berish zanjiriga ta“sir qilishi mumkin.